真空烧结炉主要用于烧结活性和不溶性金属、硬质合金、磁性材料和不锈钢。实际上是低压（减压）烧结。真空度越高，与中性大气的距离越近，材料发生的化学反应就越少。
       真空烧结炉的主要优点是：（1）真空有利于吸附气体的去除，对烧结后期的收缩有明显的促进作用。（2）真空有利于去除硅、铝、镁、钙及其氧化物等杂质，起到净化材料的作用。（3）真空可以提高液相烧结的润湿性，有利于烧结过程中的收缩，改善合金的组织。（4）真空是一种理想的惰性气体。当其它一次或惰性气体不合适，或材料容易脱碳和渗碳时，可采用真空烧结炉。（5）减少大气中有害成分（水、氧、氮等）对产品的污染。例如，将电解氢中的含水量降低到-40℃是困难的，而在真空烧结中，只要在几百帕的范围内，真空含量就相当于-40℃的***。

       粘结金属在真空液相烧结过程中的挥发损失是一个重要问题。这不仅改变和影响了合金的最终成分和结构，而且阻碍了烧结过程本身。粘结金属的挥发损失主要发生在烧结后期（即保温阶段）。真空烧结炉保温时间越长，粘结金属的挥发损失越大。因此，化学杂质、水和其他材料与材料中的碳发生反应，导致一氧化碳与炉内排放。此时，炉压明显升高，合金中总碳含量降低。显然，碳含量的变化取决于原料粉末中的氧含量和烧结过程中的真空度。二者越高，产生一氧化碳的反应越容易，脱碳越严重。
真空烧结与气体保护烧结在真空烧结炉中没有根本区别，但烧结温度较低，一般可降低100～150℃，有利于延长烧结炉寿命，降低电能消耗。